Proyecto 24DIT02 “DINAMO | RUTA DE DIGITALIZACIÓN PARA NANOMETROLOGÍA DIMENSIONAL”

D1NAM0

Tiene como misión la digitalización y la transmisión de trazabilidad a las medidas realizadas en el ámbito de la nanometrología dimensional, principalmente con microscopios de sonda de barrido (SPMs) pero también abarcando otras técnicas como pueden ser la perfilometría de contacto, la microscopía interferencial o la microscopía confocal.

Información del proyecto
Referencia
24DIT02
Financiado por

European Partnership in Metrology, co-financed from the European Union´s Horizon Europe Research and Innovation Programme and by the Participating States

Acrónimo
DINAMO
Periodo
2025-2028
Investigadores
3
Presupuesto
2.090.186,25 € (Presupuesto CEM 55 000,00 €)
Participantes

CMI (República Checa), CEM (España), DFM (Dinamarca), GUM (Polonia), INRIM (Italia), NPL (Inglaterra), PTB (Alemania), VSL (Holanda), VTT(Finlandia), BUT (Brno University of Technology), NFI (Nearfield Instruments), PWR (Wroclaw University of Science and Technology), TUBS (Technical University of Braunschweig), Bruker FR (from Bruker), Nanosurf, OXINST (from Oxford Instruments)

Objetivos
  1. Objetivo 1
    Desarrollar muestras de calibración que contengan intrínsecamente información metrológica orientadas a ser usadas en un proceso automatizado para la calibración de microscopios de sonda de barrido (SPMs)
  2. Objetivo 2
    Desarrollar una librería de rutinas de procesamiento automático de datos, para ser utilizadas tanto para la propagación de los datos de medida de calibración como de los metadatos asociados que tienen relevancia metrológica. Todo ello cumpliendo con los principios denominados FAIR (Encontrable-“Findable”-, Accesible, Interoperable y Reutilizable)
  3. Objetivo 3
    Desarrollar herramientas para ayudar a la transferencia de los datos obtenidos con SPMs a los procesos de fabricación que los requieran.
  4. Objetivo 4
    Evaluar las incertidumbres asociadas a la aplicación de las rutinas desarrolladas en los objetivos anteriores, las cuales permiten construir una cadena de trazabilidad digital en el ámbito de la nanometrología dimensional. Asimismo, hacerlas extensivas a otras técnicas de medida como pueden ser perfilómetros mecánicos, perfilómetros ópticos o instrumentos de variación de foco.
  5. Objetivo 5
    Facilitar la adopción de la tecnología y la infraestructura de medición desarrolladas en el proyecto por parte de las cadenas de medición, las organizaciones de desarrollo de normativa y los usuarios finales.
Situación, resultados y trabajos realizados
  • Junio 2025 – Inicio del proyecto: Reunión de inicio del proyecto en Brno (República Checa) el 17 de junio de 2025
  • Noviembre 2025: Se ha puesto en marcha la página de intercambio de información del proyecto en la plataforma PTBbox, donde se están realizando documentos conjuntos relativos a nomenclatura y a los datos digitales que deben acompañar a las medidas.

Se ha realizado un workshop de difusión del proyecto orientado a los fabricantes de microscopios SPMs y en él se ha intercambiado información con ellos de las necesidades que tienen los usuarios de este tipo de microscopías.

Se han acordado las muestras para calibración que se van a probar en el proyecto y ya están en proceso de fabricación.

Más información

Investigadores: Laura Carcedo, Milagros Ozaita y Mª del Mar Pérez

Jefe de proyecto: Petr Klapetek (investigador del CMI, que es el Instituto Metrológico Nacional de la República Checa)

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